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净化型匀胶机的用途

发布时间:2018-07-05 05:48:40 阅读: 来源:切带机厂家
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净化型匀胶机的用途 净化型匀胶机的用处净化匀胶机是合适半导体硅片的匀胶镀膜等其用处广泛包括合适半导体大型晶圆硅片,芯片,晶片地铁防寒工作服
,等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工艺匀胶。小型压力试验台
是集成电路及半导体件生产进程中涂复光致抗腐蚀剂的专用装备装备中涂胶部份4个工位单片微型机控制4个工位同时工作或分别工作,即各工位的运转单独传动,转数单独调理及单独显示。为保证在涂胶工艺中不飞片,缸体水压检测仪
装备中吸头和蔼泵中间有4个电磁阀,大学试验台
同时增加1个负压储气罐,保证了吸片牢固和可靠性。装备中配有专用的空气净化装置。主要技术指标:匀胶工位:1个工位或4个工位匀胶时间:1⑼9秒匀胶转数:500⑻000转/分净化效果:100级(美国联邦标准)操作区风速:0.3-

净化型匀胶机的用处

净化匀胶机是合适半导体硅片的匀胶镀膜等其用处广泛包括合适半导体大型晶圆硅片,芯片,弹簧疲劳寿命试验机
晶片,等各种胶体的工艺制版表面涂覆或光刻工艺匀胶。是集成电路及半导体件生产进程中涂复光致抗腐蚀剂的专用装备
装备中涂胶部份4个工位单片微型机控制4个工位同时工作或分别工作,即各工位的运转单独传动,弹簧低温疲劳试验仪
转数单独调理及单独显示。
为保证在涂胶工艺中不飞片,装备中吸头和蔼泵中间有4个电磁阀,同时增加1个负压储气罐,360转轴扭力试验台
保证了吸片牢固和可靠性。
装备中配有专用的空气净化装置。
主要技术指标:
匀胶工位:1个工位或4个工位
匀胶时间:1⑼9秒
匀胶转数:500⑻000转/分
净化效果:100级(美国联邦标准)
操作区风速:0.3-0.5米/秒(有效操作区气流状态:垂直层流()
适用于φ8mm-φ100mm晶体硅片及其它材料等匀胶
外形尺寸:650x750x1620mm
外体色彩:瓷白色
1.控制范围和精度:转速控制范围为:500⑻000转,精度为±3%


2.弹性试验仪
时间控制范围为:1⑼9秒,胶带剥离力试验仪
精度为±5%
3.转速调剂采取高精度D/A转换,具有128级的精度调谐。
4.转速查看智能化。(自动辨认哪一个机电开或关)自动转换到开启的机电上。可予先选定,也可在运行中随时查看任1机电的转速。
5.采取先进的I2C总线技术和E2PRAM数字存储器五金厂工作服
,可预存10组工艺参数(匀胶机A型机可予存10个延时时间,40个机电转速参数。B型机可予存20个时间参数,80个转速参数;显影机可保存9个慢启动参数,30个时间,30个转速参数)郸城工作服定做
。保存的参数掉电10年不丢失。调剂后的参数自动保存,简化了操作。
6.具有全自动智能控制功能,当使用全自动方式时只需放好工件,然后按1下ATART(开始)键,吸盘自动打开,定时工作完成后延时6秒机电停稳后自动关闭吸盘,喇叭鸣3声,提示完成工作。大大的提高了工作效力。
7.定时的时间和转速的丈量全部由软件控制,定时部份采取倒计时的方式显示,转速丈量部份直接显示被测机电的每分钟转数。调剂部份由软件和D/A转换器控制,去掉了原使用CMOS电路采取的拨盘开关和机械电位器的机械触点工作服是福利用品还是劳保用品
。在原基础上增加了全自动功能,减少了操作程序,避免了频繁的开关面板上的按键开关,大大的下降了按键开关因频繁使用而破坏。车辙成型机试验台
提高了整机的可靠性和使用寿命。调剂,启动,切换,t弯检测仪
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,并有提示音。


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